Sputteroiva titaaniseoskohde ja titaanimetalli koostuvat titaanista, joten tiedot ovat suunnilleen samat, mutta ero näiden kahden välillä on pääasiassa siinä, että sputteroiva titaaniseoskohde on valmistettu titaanimetallista useilla tavoilla, ja titaania esiintyy luonnossa titaaniseoksesta tavoitteita voidaan käyttää laajasti monissa ammattiluokissa, nyt Pekingin richmatin kirjoittaja tiivisti useita yleisiä titaaniseostavoitteita tilanteen käytön suhteen antaakseen meille yksityiskohtaisen johdannon.
一、Ti-kohteet integroiduille piireille
Vaatimukset sputteroiville titaaniseoskohteille ovat erilaiset integroimattomien ja integroitujen piirien välillä.Yleensä integroiduilla piireillä on korkeammat vaatimukset pinnoitusdatalle, kuten korkeampi puhtaus, pienempi raekoko ja tarkempi asteikon tarkkuus. Titaanikohteiden puhtaus integroiduissa piireissä on yli 99,995 %, mikä on korkeampi kuin integroimattomissa piirit, mikä osoittaa, että titaanin eri käyttötarkoitukset ovat hyvin erilaisia.
二、Ti kohde litteälle näytölle
Litteissä näytöissä käytettyjä titaaniseoskohteita ovat nestekidenäyttö, plasmanäyttö, elektroluminesenssinäyttö ja kenttäsäteilyn näyttö. Litteän näytön ohut kalvo on sputterointimenetelmä, Al, Cu, Ti ja Mo ovat litteiden paneelien ensisijaiset metallisputterointikohteet. näytöt. Titaaniseoskohteiden puhtaus litteissä näytöissä on yleensä yli 99,9 %.
三、Ti-kohteet koristemateriaaleille
Erittäin puhtaalla titaaniseoksella kohdemateriaalilla on erinomainen ilman korroosionkestävyys, pitkäaikainen käyttö ilmassa ei muuta väriä, jotta titaanin alkuperäinen väri ja ihmiskontakti eivät ole allergisia ja muut erinomaiset ominaisuudet.Siksi erittäin puhdasta titaania voidaan käyttää myös koriste-aineina, viime vuosina, kuten rannerenkaita, kelloja ja laseja ja muita koristeita, joiden puhtaus on titaania, on saavuttanut 5N-tason.
四、Ti-kohteet ultrakorkeille tyhjiöpumppujärjestelmille
Kemiallisesti aktiivisena metallina titaani voi reagoida monien alkuaineiden ja yhdisteiden kanssa korkeassa lämpötilassa.Erittäin puhtaalla titaaniseoksella on vahva adsorptiokyky aktiivisille kaasuille (kuten O2, N2, CO, CO2, vesihöyry yli 650 °C), ja pumpun seinämässä haihtuva Ti-kalvo voi muodostaa pinnan, jolla on korkea adsorptiokyky. .Tämän ominaisuuden ansiosta Ti:tä käytetään laajalti sitojana ultrakorkeassa tyhjiökaasunpoistojärjestelmässä. Jos sitä käytetään parantamaan pumppua, sputterointi-ionipumppua jne., se voi tehdä sputterointi-ionipumpun lopullisen käyttöpaineen niinkin alhaiseksi kuin 10-9PA.
Postitusaika: 25.4.2022