Tiedämme kaikki, että sputterointikohteille on monia eritelmiä,jossa on awide sovellusalue.Teri toimialoilla yleisesti käytetyt kohdelajikkeet ovat myös erilaisia, tänään tullaan kanssa PekingRichmat yhdessä oppiaksesi ruiskutuskohteen toimialaluokittelusta.
一,Sputteroivan kohdemateriaalin määritelmä
Sputterointi on yksi tärkeimmistä tekniikoista ohutkalvomateriaalien valmistuksessa.Se käyttää ionilähteen tuottamia ioneja muodostamaan suuren nopeuden omaavan ionisuihkun kiihdytetyn aggregaation avulla tyhjiössä. Pommitettu kiinteä pinta, ionit ja kiinteän pinnan atomit vaihtuvat kineettisesti, joten kiinteällä pinnalla olevat atomit lähtevät kiinteästä aineesta ja saostuvat substraatin pinta, pommitettu kiinteä aine on raaka-aine sputterointipinnoitetun kalvon valmistukseen, joka tunnetaan sputterointikohteena.
二,Sputterointikohdemateriaalien sovellusalueluokitus
1、Puolijohdekohde
(1)Yleisesti käytetty materiaali:Yleisiä kohteita tällä alalla ovat tantaali, kupari, titaani, alumiini, kulta, nikkeli ja muut korkean sulamispisteen metallit.
(2)Käyttö：Käytä periaatteessa integroidun piirin tärkeissä alkuperäisissä tiedoissa
(3)Toiminnalliset vaatimukset：Puhtauden, koon ja integroinnin tekniset vaatimukset ovat korkeat.
2,Kohdemateriaali tasonäytölle
(1)Yleisesti käytetty materiaali：Tällä alalla yleisesti käytettyjä kohteita ovat alumiini/kupari/molybdeeni/nikkeli/niobium/pii/kromi jne.
(2)Käyttö：Tällaista kohdemateriaalia käytetään pääasiassa erilaisissa laaja-alaisissa televisio- ja muistikirjafilmeissä.
(3)Toiminnalliset vaatimukset：Korkeat vaatimukset puhtaudelle, suurelle alueelle, tasaisuudesta ja niin edelleen.
3、Kohteet aurinkokennoille
(1)Yleisesti käytetty materiaali：Aurinkokennoissa käytetään yleisesti alumiini/kupari/molybdeeni/kromi/ITO/Ta-kohteita.
(2)Käyttö：Käytetään pääasiassa "ikkunakerroksessa", sulkukerroksessa, elektrodi- ja johtavassa kalvossa ja muissa tilanteissa.
(3)Toiminnalliset vaatimukset：Korkea ammattitaitovaatimus, laaja käyttöalue.
4、Kohdemateriaali tiedon tallentamiseen
(1)Yleisesti käytetty materiaali：Tietojen tallennus yleisesti käytetyt koboltti/nikkeli/ferroseos/kromi/telluuri/seleeni kohdemateriaalit.
(2)Käyttö：Kohdemateriaalia käytetään pääasiassa cd-romin ja CD:n pää-, keski- ja pohjakerroksessa.
(3) Toiminnalliset vaatimukset：Vaaditaan suurta tallennustiheyttä ja suurta siirtonopeutta.
5、Kohdemateriaali työkalujen muokkaukseen
(1)Yleisesti käytetty materiaali：Titaanin/zirkoniumin/hilan/kromi-alumiiniseoksen ja muiden kohteiden modifiointi.
(2)Käyttö:Sitä käytetään yleensä ulkonäön parantamiseen.
(3)Toiminnalliset vaatimukset：Korkeat toiminnalliset vaatimukset, pitkä käyttöikä.
6、Kohdemateriaalit elektronisiin laitteisiin
(1)Yleisesti käytetty materiaali:Alumiiniseos/silikidikohteita käytetään yleisesti elektroniikkalaitteissa
(2)Käyttö：Yleensä käytetään kalvovastuksissa ja kondensaattoreissa.
(3)Toiminnalliset vaatimukset：Pieni koko, vakaus, alhainen vastuksen lämpötilakerroin
Postitusaika: 21.4.2022