RSM:n tekninen konsultti jakaa kanssasi sylinterimäisten ja tasomaisten magnetronin sputterointikohteiden edut?Muihin magnetronisputterointikohteisiin verrattuna sylinterimäiset ja tasomaiset magnetronisputterointikohteet säilyttävät suorakaiteen muotoisten tasomaisten kohteiden hyvän pinnoitteen tasaisuuden edut ja voivat maksimoida kohteiden käytön seuraavilla kahdella tavalla:
(1) Kun kohteen pinnalla olevat kaksi rengasmaisten kuoppien ryhmää (neljä) saavuttavat tietyn syvyyden, kohdeydintä (magneettiosaa) voidaan kääntää 45 ° kohdeputkeen nähden, jotta muut alueet kohdeputkessa joita ei ole ruostunut, voidaan käyttää;
(2) Kun lieriömäisen ja tasomaisen magnetronisputterointikohteen kohdeydin on suunniteltu pyöriväksi kohdeytimeksi (kohdesydän pyörii sputteroinnin aikana), kohteen pinta voidaan sputteroida tasaisesti pois kerros kerrokselta ilman kuoppia.Tällä hetkellä kohdetta käytetään tehokkaimmin ja kohteen käyttöaste voi nousta 50 % ~ 60 %:iin Kun kohdemateriaali on jalometalli, tällä on tietysti suuri merkitys.
Käyttämällä napakengän magneetin periaatetta koaksiaalisessa sylinterimäisessä magnetronisputterointikohteessa päätemagneettikentän ongelman ratkaisemiseksi, suorakaiteen muotoinen tasokohde voidaan muuntaa sylinterimäiseksi ja tasomaiseksi magnetronisputterointikohteeksi, kohde voi maksimoida kohteen käyttöasteen. samalla kun säilytetään suorakaiteen muotoisen tasokohteen hyvä pinnoitteen tasaisuus taloudellisten hyötyjen parantamiseksi.
Postitusaika: 04-04-2022