Sputteroituja molybdeenikohteita on käytetty laajalti elektroniikkateollisuudessa, aurinkokennoissa, lasipinnoitteissa ja muilla aloilla niiden luontaisten etujen vuoksi.Miniatyrisoinnin, integroinnin, digitalisoinnin ja älykkyyden modernin teknologian nopean kehityksen myötä molybdeenikohteiden käyttö lisääntyy edelleen ja myös niiden laatuvaatimukset kohoavat.Joten meidän on löydettävä tapoja parantaa molybdeenikohteiden käyttöastetta.Nyt RSM:n toimittaja esittelee useita menetelmiä, joilla voidaan parantaa ruiskutettavien molybdeenikohteiden käyttöastetta kaikille.
1. Lisää sähkömagneettinen käämi kääntöpuolelle
Sputteroidun molybdeenikohteen käyttöasteen parantamiseksi tasomaisen Magnetron-sputteroivan molybdeenikohteen kääntöpuolelle voidaan lisätä sähkömagneettinen kela ja molybdeenikohteen pinnan magneettikenttää voidaan lisätä lisäämällä sähkömagneettinen kela molybdeenikohteen käyttöasteen parantamiseksi.
2. Valitse putkimainen pyörivä kohdemateriaali
Litteisiin maalitauluihin verrattuna putkimaisen pyörivän kohderakenteen valinta korostaa sen merkittäviä etuja.Yleensä litteiden maalitaulujen käyttöaste on vain 30-50 %, kun taas putkimaisten pyörivien maalitaulujen käyttöaste voi nousta yli 80 %:iin.Lisäksi, kun käytetään pyörivää onttoa putkea Magnetron-sputterointikohdetta, koska kohde voi pyöriä kiinteän tankomagneettikokoonpanon ympärillä koko ajan, sen pinnalle ei tapahdu uudelleen kerrostumista, joten pyörivän kohteen käyttöikä on yleensä yli 5 kertaa pidempi. kuin lentokoneen kohteen.
3. Vaihda uuteen sputterointilaitteeseen
Avain kohdemateriaalien käyttöasteen parantamiseen on sputterointilaitteiden vaihto.Molybdeeniruiskutuskohdemateriaalin sputterointiprosessin aikana noin kuudesosa sputterointiatomeista laskeutuu tyhjökammion seinälle tai kannattimelle vetyionien osuttua niihin, mikä lisää tyhjiölaitteiston puhdistuskustannuksia ja seisokkeja.Joten uusien sputterointilaitteiden vaihtaminen voi myös auttaa parantamaan ruiskutettavien molybdeenikohteiden käyttöastetta.
Postitusaika: 24.5.2023