Monet käyttäjät ovat varmasti kuulleet sputterointikohteen tuotteesta, mutta sputterointikohteen periaatteen pitäisi olla suhteellisen tuntematon.Nyt toimittajaRikas erikoismateriaali (RSM) jakaa sputterointikohteen magnetronisputteroinnin periaatteet.
Ortogonaalinen magneettikenttä ja sähkökenttä lisätään sputteroidun kohdeelektrodin (katodin) ja anodin väliin, tarvittava inertti kaasu (yleensä Ar-kaasu) täytetään suurtyhjiökammioon, kestomagneetti muodostaa 250-350 Gauss-magneettikentän. kohdetietojen pinta ja ortogonaalinen sähkömagneettinen kenttä muodostetaan suurjännitesähkökentän kanssa.
Sähkökentän vaikutuksesta Ar-kaasu ionisoituu positiivisiksi ioneiksi ja elektroneiksi.Tietty negatiivinen korkea jännite lisätään kohteeseen.Magneettikentän vaikutus kohdenapasta lähteviin elektroneihin ja työkaasun ionisaatiotodennäköisyys kasvavat muodostaen tiheästi plasman katodin lähelle.Lorentzin voiman vaikutuksesta Ar-ionit kiihtyvät kohdepintaan ja pommittavat kohdepintaa erittäin suurella nopeudella. Kohteessa olevat sputteroidut atomit noudattavat liikemäärän muunnosperiaatetta ja lentävät pois kohdepinnalta substraatille suurella kineettisellä energialla tallentaa elokuvia.
Magnetronisputterointi jaetaan yleensä kahteen tyyppiin: sivuputkisputterointi ja RF-sputterointi.Sivusputterointilaitteiston periaate on yksinkertainen, ja sen nopeus on nopea myös metallia ruiskuttaessa.RF-sputterointia käytetään laajalti.Sen lisäksi, että se ruiskuttaa johtavia materiaaleja, se voi myös ruiskuttaa sähköä johtamattomia materiaaleja.Samalla se suorittaa myös reaktiivista sputterointia oksidien, nitridien, karbidien ja muiden yhdisteiden materiaalien valmistamiseksi.Jos RF-taajuutta nostetaan, siitä tulee mikroaaltoplasmasputterointi.Nykyään elektronisyklotroniresonanssi (ECR) -mikroaaltoplasmapputterointia käytetään yleisesti.
Postitusaika: 31.5.2022