1、 Sputteroinnin valmistelu
On erittäin tärkeää pitää tyhjiökammio, erityisesti sputterointijärjestelmä puhtaana.Kaikki voiteluöljyn, pölyn ja edellisen pinnoitteen muodostamat jäämät keräävät vesihöyryä ja muita epäpuhtauksia, jotka vaikuttavat suoraan alipaineasteeseen ja lisäävät kalvonmuodostuksen epäonnistumisen mahdollisuutta.Oikosulku tai kohteen kipinöinti, karkea kalvopinta ja liiallinen kemiallisten epäpuhtauksien pitoisuus johtuvat usein likaisesta ruiskutuskammiosta, sputterointipistoolista ja maalitaulusta.Pinnoitteen koostumusominaisuuksien noudattamiseksi on tarpeen puhdistaa ja kuivata sputterointikaasu (argon tai happi).Kun substraatti on asennettu sputterointikammioon, ilma on poistettava prosessin vaatiman tyhjön saavuttamiseksi.Myös pimeän alueen suojakansi, ontelon seinä ja viereinen pinta on pidettävä puhtaana.Tyhjiökammiota puhdistettaessa suosittelemme lasikuulapuhalluksen käyttöä pölyisten osien käsittelyyn, paineilman kanssa kammion ympärillä olevien varhaisten ruiskutusjäämien poistamiseksi ja sen jälkeen ulkopinnan hiljaa kiillottamista alumiinioksidikyllästetyllä hiekkapaperilla.Harsopaperin kiillotuksen jälkeen se puhdistetaan alkoholilla, asetonilla ja deionisoidulla vedellä.Yhdessä se kannattaa teollisuuspölynimurin käyttöä apupuhdistukseen.Gaozhan metallin valmistamat kohteet pakataan tyhjiösuljettuihin muovipusseihin,
Sisäänrakennettu kosteutta hylkivä aine.Kun käytät maalitaulua, älä koske maaliin suoraan kädelläsi.Huomautus: käytä puhtaita ja nukkaamattomia huoltokäsineitä käyttäessäsi kohdetta.Älä koskaan kosketa kohdetta suoraan käsilläsi
2、 Kohteen puhdistus
Kohteen puhdistuksen tarkoituksena on poistaa kohteen pinnalla mahdollisesti oleva pöly tai lika.
Metallitaulu voidaan puhdistaa neljässä vaiheessa,
Ensimmäinen vaihe on puhdistaa asetoniin kostutetulla nukkaamattomalla kankaalla.
Toinen vaihe on samanlainen kuin ensimmäinen vaihe, puhdistus alkoholilla;
Vaihe 3: Puhdista deionisoidulla vedellä.Deionisoidulla vedellä pesun jälkeen aseta kohde uuniin ja kuivaa sitä 100 ℃:ssa 30 minuuttia.
Oksidi- ja keraamiset kohteet puhdistetaan nukkaamattomalla liinalla.
Neljäs vaihe on pestä kohde argonilla korkeapaineisella ja matalalla vesikaasulla pölyisen alueen poistamisen jälkeen, jotta poistetaan kaikki epäpuhtaushiukkaset, jotka voivat muodostaa valokaaren sputterointijärjestelmässä.
3、 Kohdelaite
Kohteen asennuksessa Z tärkeitä varotoimenpiteitä ovat hyvän lämmönjohtavuuden varmistaminen kohteen ja sputterointipistoolin jäähdytysseinän välillä.Jos jäähdytyslevyn vääntyminen on vakavaa tai takalevyn vääntyminen on vakavaa, kohdelaite halkeilee tai taipuu ja lämmönjohtavuus takaobjektista kohteeseen vaikuttaa suuresti, mikä johtaa lämmönpoiston epäonnistumiseen. sputterointiprosessissa, ja kohde halkeilee tai ohittaa
Lämmönjohtavuuden varmistamiseksi katodin jäähdytysseinän ja kohteen väliin voidaan pehmustaa kerros grafiittipaperia.Kiinnitä huomiota siihen, että käytät ruiskutuspistoolin jäähdytysseinän tasaisuutta ja varmista, että O-rengas on aina paikallaan.
Koska käytetyn jäähdytysveden puhtaus ja laitteiden käytön aikana mahdollisesti syntyvä pöly kerääntyy katodin jäähdytysvesisäiliöön, katodin jäähdytysvesisäiliö on tarkastettava ja puhdistettava kohdetta asennettaessa tasaisen toiminnan varmistamiseksi. jäähdytysveden kierto ja että tulo- ja ulostuloaukot eivät tukkeudu.
Joillekin katodeille on suunniteltu pieni tila anodin kanssa, joten kohdetta asennettaessa on varmistettava, että katodin ja anodin välillä ei ole kosketusta tai johdinta, muuten tapahtuu oikosulku.
Katso laitteen käyttäjän käsikirjasta tietoja siitä, kuinka kohdetta käytetään oikein.Jos käyttöohjeessa ei ole tällaisia tietoja, yritä asentaa laite Gaozhan metalin antamien asiaankuuluvien ehdotusten mukaisesti.Kun kiristät kohdekiinnitystä, kiristä ensin yksi pultti käsin ja sitten toinen pultti diagonaalista käsin.Toista tämä, kunnes kaikki laitteen pultit on kiristetty, ja kiristä sitten jollakin.
4、 Oikosulku- ja tiiviystarkastus
Kohdelaitteen valmistumisen jälkeen on tarkistettava koko katodin oikosulku ja tiiviys,
On ehdotettu, että katodissa oikosulku määritetään resistanssimittarilla
Syrjintä.Kun on varmistettu, että katodissa ei ole oikosulkua, voidaan suorittaa vuodon havaitseminen ja vettä voidaan syöttää katodiin varmistaakseen, onko vesivuotoa.
5、 Kohdennettu esiruiskutus
Kohteen esiruiskutus suosittelee puhdasta argonsputterointia, joka voi puhdistaa kohteen pinnan.Kun kohde on esisputteroitu, sputterointitehoa suositellaan nostamaan hitaasti, ja keraamisen kohteen tehonlisäysnopeus on 1,5 WH / cm2.Metallikohteen esisputterointinopeus voi olla suurempi kuin keraamisen kohdekappaleen, ja kohtuullinen tehonlisäysnopeus on 1,5 WH / cm2.
Esiruiskutuksen aikana meidän on tarkistettava kohteen kiertymä.Esiruiskutusaika on yleensä noin 10 minuuttia.Jos valokaariilmiötä ei ole, lisää sputterointitehoa jatkuvasti
Asettuun tehoon.Kokemuksen mukaan metallikohteen hyväksyttävä Z-sputterointiteho on
25 wattia / cm2, 10 wattia / cm2 keraamiselle maalitaululle.Katso alipainekammion paineen asetusperusteet ja kokemus sputteroinnin aikana käyttäjän järjestelmän käyttöoppaasta.Yleensä tulee varmistaa, että veden lämpötila jäähdytysveden ulostulossa on alle 35 ℃, mutta Z on tärkeää varmistaa, että jäähdytysveden kiertojärjestelmä voi toimia tehokkaasti
Alijäähdytysveden nopea kierto vie lämpöä, mikä on tärkeä tae jatkuvan sputteroinnin varmistamiseksi suurella teholla.Metallikohteiden osalta suositellaan yleisesti, että jäähdytysvesivirtaus on
20 lpm vedenpaine on noin 5gmp;Keraamisille kohteille suositellaan yleisesti, että veden virtaus on 30 lpm ja vedenpaine noin 9 gmp
6、 Kohdehuolto
Sputterointiprosessin epäpuhtaan ontelon aiheuttaman oikosulun ja valokaaren estämiseksi on tarpeen poistaa sputterointiradan keskelle ja molemmille puolille kertynyt sputteri vaiheittain,
Tämä auttaa myös käyttäjiä sputteroimaan jatkuvasti z suurella tehotiheydellä
7、 Kohdevarasto
Gaozhan metallin toimittamat maalitaulut on pakattu kaksikerroksisiin tyhjiömuovipusseihin.Suosittelemme, että käyttäjät pitävät maalit, olivatpa ne metallisia tai keraamisia, tyhjiöpakkauksissa.Erityisesti sidoskohteet on varastoitava tyhjiöolosuhteissa, jotta sidekerroksen hapettuminen ei vaikuta sidosten laatuun.Metallitaulujen pakkauksissa kannatamme Z:n pakkaamista puhtaisiin muovipusseihin
Postitusaika: 13.5.2022