Sputterointikohteiden halkeamia esiintyy yleensä keraamisissa sputterointikohteissa, kuten oksideissa, karbideissa, nitrideissä ja hauraissa materiaaleissa, kuten kromissa, antimonissa, vismutissa.Anna nyt RSM:n teknisten asiantuntijoiden selittää, miksi sputterointikohde halkeilee ja mitä ennaltaehkäiseviä toimenpiteitä voidaan tehdä...
Lue lisää